罗茨旋片真空机组是由型罗茨泵做为主抽泵,单级或双级旋片泵做为前级泵的低、高真空获得设备,整套机组安置在一个机架上,配以管道、阀门和电器操作控制箱,还配有冷却水管系统机组结构紧凑、使用方便。旋片真空度达到极限时抽气速率不断降低,罗茨真空泵能使机组在极限真空时保持相对大的抽气速率,罗茨旋片真空机组真空度高,可持续工作,噪音低。
为了提高罗茨旋片真空机组的抽气性能,达到较高的极限真空和改善在低入口压力时的抽速特性及对大型真空机组配用较小规格的前极泵,罗茨旋片真空机组也有由二级罗茨真空泵串联的三级机组。