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MEMS加速度计 MS1000系列,vs9000, MS9001提供选型型号：MS1002 MS1005 MS1010 MS1030 MS1100，RS9000MS8000所需更多产品资料欢迎百度搜索西安精准测控
MS1000实现了MEMS器件的一个突破性进展，使其在长期零偏和比例因子重复性，运行中偏置稳定性和振动整流误差（VRE）方面达到无与伦比,的性能。
MS1000是专为惯性应用而设计的的同类电容式体硅MEMS加速度计。其优异的长期零偏和比例因子重复性，低运行偏差，优异的振动行为（VRE）和低噪声，可用于非常和具有成本效益的战术级测量。
内部电子电路集成了一个具有差分模拟±2.7V输出的信号调理器，一个内置自检和一个温度补偿传感器。
航空航天 & & 国防 : 海军 & & 陆地
惯性测量单元 (IMUs) 寻北、天线、声纳定位
航空电子设备（固定翼和旋翼） FCS，自动驾驶仪 ROV 制导，武器发射系统
姿态系统（AHRS，待机） , 船舶导航和控制
武器发射系统 - 平台稳定性 移动测绘
GPS 辅助引导 & 导航无人机系统 列车定位（GPS 航位推算
短程制导，机器人 MWD – 随钻导向
重要参数,典型值 MS1002 MS1005* MS1010 MS1030* MS1100* Unit
加速度全量程 ± 2 ± 5 ±10 ± 30 ± 100 g
剩余偏置建模误差 0.14 0.35 0.7 2.1 7.0 mg
长期零偏重复性 0.24 0.6 1.2 3.6 12.0 mg
运行中偏置稳定性 3 7.5 15 45 150 µg
剩余比例因子建模误差 120 120 120 120 120 ppm
比例因子敏感性 1350 540 270 90 27 mV/g
轴不对准 10 10 10 10 10 mrad
分辨率(1Hz) 7 17 34 102 339 µg rms
非线性 (IEEE norm) 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 % FS
工作温度 -40 to +125 -40 to +125 -40 to +125 -40 to +125 -40to +125 °C
运行功耗 10 10 10 10 10 mW
尺寸 9 x 9 9 x 9 9 x 9 9 x 9 9 x 9mm
MS1002 参数
除非另有说明，所有数值都是在环境温度(20°C)和 3.3 V 供电 VDD 下测得。加速度值定义为差分信号
(OUTP-OUTN) 。
参数 说明 Zui小值 典型值 Zui大值 单位
加速度计
全量程 ±2 g
非线性度 IEEE 标准 , 全量程的百分比 0.3 1.0 %
频率响应范围 -3dB 200 Hz
共振频率 过阻尼 1.4 kHz
振动整流误差 平均值区间[50Hz , 2kHz] 1’300 µg/g 2
噪声 在带宽内 7 µg/√Hz
分辨率 @ 1Hz 7 µg rms
起动时间 传感器正常运行时；若 POR 触
发则会延迟 40 µs
零位偏置(K0)
标称 标定精度 -7 7 mg
温度系数 测量区间 [-40°C , 85°C] 75 µg/°C
初始残差建模误差 第三阶温度补偿[-40°C , 85°C] 0.14 mg
长期重复性 见术语表 0.24 mg
运行中偏置稳定性 基于 Allan 方差特征(@ 10s) 3 µg
